カーボンナノチューブ複合めっきを用いた高保持力電着ワイヤーによる単結晶シリコンの切断加工

抄録

高硬度脆性材料の切断に用いられるダイヤモンド電着ワイヤーには，脱落を起因としたライフアウトにより加工面品質を悪化させる課題がある。そこで我々はカーボンナノチューブ複合めっきを用い，高い砥粒保持力を有するダイヤモンド電着ワイヤーを開発した。本研究では，開発した電着ワイヤーによる単結晶シリコンの切断試験を実施し，切断後の工具損傷及びワークの切断面性状を，通常の電着ワイヤーによるものと比較し，評価した。