レーザ援用によるガラスの高能率精密切削加工に関する研究

伊藤 佑介; 植木 政瑛; 木崎 通; 杉田 直彦; 光石 衛

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_679

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: I24

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_679

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主催: 公益社団法人精密工学会

レーザ援用によるガラスの高能率精密切削加工に関する研究

*伊藤佑介, 植木政瑛, 木崎通, 杉田直彦, 光石衛

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キーワード: ガラス, 精密加工, レーザ, 微細加工, 複合加工

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抄録

硬脆材料であるガラスは切り取り厚さが0.1 μm以上では脆性的な加工となることが知られているが，ボールエンドミルを傾斜させることで切り込み深さ10 μmでの延性切削加工が実現されている．しかしながら現状では送り速度が0.5 mm/minという低速に限定されている．本研究ではレーザを援用することでガラスを軟化させ，軟化した領域を工具により除去するレーザ援用切削加工により，高送り速度でのガラスの精密加工を実現した．

責任著者(Corresponding author)

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