微細孔を利用したアモルファスカーボン膜の密着性の向上

抄録

アルミニウム合金基板上でのアモルファスカーボン膜の潤滑特性・耐摩耗性維持のため，エッチングにより基板表面に数十nm幅，数nm深さの微細孔を形成することで膜の密着性向上を試みた．膜の密着性を評価するために，圧子押込み試験を行った．その結果，微細孔の存在により膜の密着性が向上することを明らかにした．また表面微細孔形状と膜の密着性の関係について考察した．