第一原理シミュレーションによる高機能チタン酸バリウム薄膜の創製

抄録

MEMSデバイスにおける圧電材料の実装において薄膜化が広く行われているが，それに伴う圧電性の低下が大きな問題となる．そこで本報では，高い定量性を持つ新たなペロブスカイト型圧電薄膜の高機能化手法として，第一原理計算によりチタン酸バリウムの圧電性向上が可能な添加元素の探索を行った．そして，スパッタリング法による薄膜創製において，探索された添加元素による機能向上を確認し，その有効性を確認した．