大面積電子ビーム照射による穴底面平滑化の検討

抄録

鉄鋼系金型材料や生体材料の平坦面に対して大面積電子ビーム照射を行うことで，材料表面の平滑化が可能であることを明らかにしている．しかし，穴形状の場合，電子ビームが穴の入り口等に集中するため，穴底面全面に対する平滑化が困難である．本研究では，非磁性体材料の穴底面下部に設置する磁性体試料の形状を変化させることで，穴底面全面の平滑化について実験的に検討を行った．