超短パルスレーザによる多層CVDダイヤモンドコーティングの加工特性

井上 京士; 糸魚川 文広; 小野 信吾; 中村 隆

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_827

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: O13

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_827

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主催: 公益社団法人精密工学会

超短パルスレーザによる多層CVDダイヤモンドコーティングの加工特性

*井上京士, 糸魚川文広, 小野信吾, 中村隆

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キーワード: 超短パルスレーザ, CVDダイヤモンド

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抄録

切削工具等に用いられているCVDダイヤモンドは，その形状成形法の一つとしてレーザ加工が用いられている．本研究ではその加工特性を調査するため，対物レンズで集光した超短パルスレーザでCVDダイヤモンドの多層膜の加工実験を行った．加工条件として，パワー，デフォーカス量によりフルーエンスを変化させた場合の加工特性を，SEM，多光子顕微鏡等を用いた詳細な観察から考察した．

責任著者(Corresponding author)

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