エポキシ樹脂研磨パッドにおける粒子添加の効果

抄録

硬脆材料の精密研磨用パッドに用いるウレタン樹脂の代替としては、親水性の高いエポキシ樹脂パッドが開発されている。本研究では、エポキシ樹脂パッドの研磨特性をさらに向上するために粒子を添加した研磨パッドを作成した。優れた研磨特性が確認されたので、報告する。