縦穴構造研磨パッドによる縁だれの改善

抄録

ウレタン樹脂製のスエードタイプ研磨パッドにエポキシ樹脂を添加することで、研磨特性が向上することが分かっている。本研究では、ピラー構造の型を作製し、エポキシ樹脂に転写することにより縦穴構造を持つエポキシ樹脂研磨パッドを開発した。また、縦穴構造研磨パッドの加工特性を調査した。縦穴構造研磨パッドを用いる場合、優れた研磨能率・仕上げ面粗さおよび少ない縁だれが確認されたので、報告する。