分散・凝集状態の制御されたセリア研磨スラリーの砥粒挙動の動的観察について

抄録

ガラス系材料の研磨に多用されるセリア砥粒研磨スラリーに対して，制御剤による分散・凝集状態の制御により研磨加工能率の向上が可能である．この分散・凝集状態の定量測定と評価方法の検討において一定の進展が得られる中，更なる解明のために，圧力や相対運動のある研磨に近い状態でスラリー中の砥粒の挙動を通常の顕微鏡動的観察に加え，高速度カメラマイクロスコープを用いて，関連条件と挙動の関係を調べたので，その考察を報告する．