硬化速度の異なる硬化剤を用いたエポキシ樹脂研磨パッド

抄録

ガラスの精密研磨にはウレタン樹脂研磨パッドが主に使用されているが、親水性が悪く研磨能率が低いという欠点がある。それに対し、エポキシ樹脂研磨パッドはウレタン樹脂研磨パッドより親水性に優れ、研磨能率が高いことが確認されている。そこで本研究では、表面状態が異なる無気孔のエポキシ樹脂研磨パッドを開発し、表面状態による研磨特性の影響を調査した。