位相回復法を用いた回転楕円ミラーの形状計測の高精度化

竹尾 陽子; 齋藤 貴宏; 三村 秀和

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_917

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: Q36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_917

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

位相回復法を用いた回転楕円ミラーの形状計測の高精度化

*竹尾陽子, 齋藤貴宏, 三村秀和

著者情報

キーワード: 回転楕円ミラー, 位相回復, タイコグラフィ, 波面計測, 形状計測, アライメント計測

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

3次元非球面形状を持つ軟X線集光回転楕円ミラーを理想的に作製するためには，反射面の形状を高精度に計測する必要がある．我々は，可視光を用いたタイコグラフィ位相回復法による集光波面計測システムを開発し，ミラーの高開口数に対応してアルゴリズム及び波動場伝播計算の改良を行った．本手法を用いてミラーのアライメント誤差を補正した後にミラーの形状誤差に起因する波面誤差を計測し，反射面の形状を評価した．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）