斜入射光の反射角変化を用いた鏡面物体の形状誤差測定法

スクリーンの傾きが測定結果へ与える影響

抄録

光を用いた測定法は非接触で測定を行うことができる。しかし、大きな面を測定する場合、測定対象に覆いかぶさるように装置を配置することになり、落下物などによって測定面が損傷する危険が問題視されている。これまでに、この問題を解決するため、光の反射角度の変化を用いた測定法を提案している。本報告では、スクリーンの傾きが測定結果へ与える影響をシミュレーションと実験で調査した結果について報告する。