干渉色画像解析による多層膜の膜厚分布測定

北川 克一; 大槻 真左文

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_999

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: T36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_999

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主催: 公益社団法人精密工学会

干渉色画像解析による多層膜の膜厚分布測定

*北川克一, 大槻真左文

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キーワード: 干渉計測, 膜厚, 透明膜, 干渉色, 多層

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抄録

我々はカラーカメラにより得られる3波長の干渉色画像から膜厚を推定する新たな膜厚分布測定法（GMFT法）を開発している．これにより，半導体ウエーハ上の膜厚分布や，流下するシャボン膜の膜厚変化が高速高精度で測定可能になった．ところで，産業界では，多層膜の膜厚測定のニーズも高い．本報では，GMFT法を拡張して多層膜に対応可能にした新しいアルゴリズムと，その計算機実験の結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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