微細穴の電解加工における電極形状の転写特性に関する研究

抄録

本研究では、気泡制御と電極形状制御の2つの加工法による微細テーパ形状穴加工についての研究を行っている。本報では、電極形状制御では電極自体の形状をテーパ形状にして転写するようにして電解加工を行い、微細穴形状への電極形状の転写特性を調べている。加工実験では、あらかじめ空けた貫通穴に電極を差し込んで加工を行い、電極寸法や形状、印加電圧などのパラメータが微細穴の形状に及ぼす影響を明らかにしている。