GaN研磨加工高能率化の研究（第1報）

小型研磨機を用いた反射型光路による紫外線照射と強アルカリ機能水の効果

抄録

窒化ガリウムは、高周波領域における中耐圧パワーデバイス用途として期待されている。しかし、GaNが化学的に非常に安定しているため研磨に非常に時間がかかるという問題がある。そこで本報告では、小型基板が使用できる小型研磨機を用いて、反射型光路による紫外線照射と強アルカリ機能水を用いて研磨の高能率化の検討を行った。