分光干渉法による絶対空間位置の計測技術

抄録

数mの比較的長い空間においては、走査ステージを用いたマイケルソン干渉法は外乱の影響を受けやすいので、精密測定が困難である。これに対して、分光干渉法では、フィゾー干渉計の後で分光計測を行うので、外乱に強い効果が期待される外に、微弱光での計測も期待される。本発表では、幾何学量の計測分野において、分光器を用いた干渉法に関して議論する。また、光コムなどのブロードスペクトル光源によって行った予備実験の結果を報告する。