自由曲面測定装置におけるスティッチ技術の開発（第6報） 系統誤差の測定と補償

根岸 真人; 保坂 光太郎; 堆 浩太郎

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_181

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: C19

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_181

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

自由曲面測定装置におけるスティッチ技術の開発（第6報）

系統誤差の測定と補償

*根岸真人, 保坂光太郎, 堆浩太郎

著者情報

キーワード: スティッチ測定, 系統誤差, 非球面光学素子, 最適化, オーバーラップ, ゼルニケ多項式

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抄録

従来のスティッチ計算法は自由曲面測定装置のまばらな３次元点列では計算誤差が大きい．そこでARSA(Approximated Reference Shape Algorithm，近似参照形状アルゴリズム)と呼ぶ新しい計算法を開発している．本報は平面ワークを６回測定してＺ系統誤差を補正する方法を検討する．平面ワークがミクロンオーダーの形状誤差とリップル誤差を持つ場合であっても，ナノメートルオーダーで系統誤差を測定できることをシミュレーションで示した．

責任著者(Corresponding author)

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