マルチ角度センサを用いた小型非球面の形状測定

第3報 1軸による非球面測定実験

抄録

非球面は近年多くの工業製品に用いられており、その表面形状を精密に計測することは需要を増してきている。現在非球面形状を計測する技術として、新たにマルチビームによる角度センサを用いて計測する手法を提案している。このセンサを使用することで、非球面のナノメートルのオーダで精密に計測することを目標とする。本報では、前報で解析したデータの精度を1軸方向に回転させた非球面を測定することによって検証する。