分子動力学シミュレーションによるプラズマプロセス表面反応機構解析（キーノートスピーチ）

抄録

近年、半導体デバイスは微細化の極限に達し、その製造工程に不可欠なプラズマプロセスも極めて複雑である。そのため、最先端プロセス開発の更なる効率化には、プロセス中の表面反応機構の深い理解が必要不可欠である。本講演では、原子・分子レベル数値シミュレーション（第一原理シミュレーション・分子動力学シミュレーション）を用いた半導体プロセス用プラズマ物質相互作用解析に関する最先端の研究成果について議論する。