Water-CAREを用いた高機能マイクロテクスチャ製造技術の開発

抄録

濡れ性を制御したマイクロリアクタや細胞培養容器などの低コスト量産技術として、金型を用いた微細構造の転写と薄膜形成、これに水のみを用いた超精密研磨技術である“Water-CARE”を適用した画期的な製法を開発した。CAREで加工されない撥水性皮膜をストッパー層として、最表層の薄膜のみを選択的に除去することで、溝内部に親水性のガラス質膜を残した、高機能マイクロテクスチャの製造が可能となった。