単結晶サファイアの研削特性に関する研究

抄録

サファイアウエハの平坦化・薄化加工においては、ラップレス化の要求から高品位な研削加工の実現が急務であるが、サファイアは高脆性であり、能率良く高品位な加工を行うことが困難な材料である。本研究では、このようなサファイアの研削特性に関する基礎的知見を得ることを目的に、ダイヤモンドホイールを用いた定圧研削試験により、単結晶体と多結晶体の研削特性の違いや、面方位の異なるサファイアの被研削性などについて検討した。