単結晶サファイアウエハの湿式・乾式研削の比較

抄録

単結晶サファイアは六方晶系の構造をもつ結晶体である．単結晶サファイアはシリコンなど他の結晶体のような明確な劈開面を持たない結晶体である．高強度・高靭性な機械特性を有しており，除去メカニズムが不明な部分が多いため加工が困難な難削材として知られている．研削する際には湿式研削が一般的で，乾式研削を行った報告は少ない．本研究では，単結晶サファイアC面で湿式・乾式研削を行い，除去メカニズムの考察を行った．