精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会秋季大会
セッションID: G00
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液中CVD法による単層カーボンナノチューブの形成
豊田 洋通*岡村 隆志朱 霞岩本 幸治野村 信福
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抄録
本研究の目的は高純度単層カーボンナノチューブを高速形成することである.気相よりも分子密度の高い液相における液中熱化学気相蒸着(CVD)法での合成について調査し考察した.膜厚と合成温度の関係,触媒金属の種類によるCNT合成影響,溶液の構成元素数の違いによる影響を考察した.膜厚と温度の関係,適切な触媒金属,液中CVD法でのCNT合成手法の確立がなされた.
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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