ダイヤモンド粒傷つけ処理によるDLCコーティングの耐剥離性向上

山下 崇裕; 赤坂 大樹; 大竹 尚登

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_437

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: G02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_437

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

ダイヤモンド粒傷つけ処理によるDLCコーティングの耐剥離性向上

*山下崇裕, 赤坂大樹, 大竹尚登

著者情報

キーワード: ダイヤモンド粒, DLC, 密着性, 耐摩耗性, CVD, 中間層

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抄録

DLCコーティングの用途拡大は著しいが，これを摺動面に適用する際の課題の1つに，基材との安定した密着性付与が挙げられる．現在は中間層を導入することでこれの解決が試みられているが，コスト面等の課題がある．本研究では新たな密着性向上手法として，ダイヤモンド粒による傷つけ処理を提案する．この手法を用いることで，DLCコーティングの耐剥離性が向上することが明らかになったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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