準大気圧プラズマを用いた高濃度パーフルオロカーボンガスの分解特性

抄録

地球温暖化係数の大きなCF₄ガスのプラズマ分解処理に注目が集まっているが、CF₄のみからなる準大気圧ガスをプラズマ処理した場合、その分解挙動に関する知見はほとんど無い。そこで本研究では、プロセス圧力数100 Torrの純粋なCF₄プラズマ中でのCF₄の分解挙動を調査した。調査の結果、CF₄分解率は流量依存性と圧力依存性のそれぞれにおいて、プラズマ滞在時間に対し異なる挙動を示し、流量40 sccm、圧力80 Torrの条件において最大分解率42%を得た。