被削材の特性がスライシング特性におよぼす影響

抄録

本研究ではダイヤモンド電着ワイヤ工具を用い，各種硬脆材料の基礎的な切断特性について検討している．これまでセラミックを被削材として用いてきたが，本報では被削材にシリコンおよびサファイアを用い，被削材の特性とダイヤモンド電着ワイヤ工具によるスライシング特性との関係について検討している．また，加工に伴うダイヤモンド電着ワイヤ工具の摩耗特性等についても検討した結果を報告する．