水静圧軸受において発生するスピンドルの温度変化の検討

抄録

加工精度の更なる向上のため，超精密工作機械用スピンドルには熱的安定性の向上が期待されている．回転軸を非接触で支持する静圧スピンドルにおいても，粘性摩擦に起因する温度上昇が加工精度に悪影響を及ぼす可能性がある．本研究では水静圧スピンドルについて，スピンドル内部で発生する動力損失，スピンドル各部の温度変化を測定し，水の利用によるスピンドルの冷却効果に関する検討を行う．