浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発

抄録

微動性能向上の鍵は摺動部の摩擦低減にある．本研究ではスクイーズ効果で浮上支持させ，浮上力制御と自重バランスで駆動可能な微動テーブルを開発した．加振振幅を与えることで浮上力が得られ，振幅調整によって微動が生じる．試験の結果，テーブルが非接触で支持されていることを確認した．また，振幅をステップ状に変化させたところ変化に応じてテーブルが微動し，全ストローク変位と最小変位を観察できた．