超音波振動を併用した静電誘導アクチュエータにおけるギャップ特性の評価

抄録

静電誘導アクチュエータに超音波振動機構を組み合わせることで、ステータ・スライダ間の摩擦を低減し、他の潤滑機構を用いることなく駆動を可能にする手法が提案されている．本研究では、このアクチュエータにおけるスライダ・ステータ間のギャップ変化を評価した．超音波振動と静電アクチュエータの始動の順序によりギャップの安定点が異なること、及び、駆動特性が異なることを確認した．