走査型電子顕微鏡用インパクト駆動機構アクチュエータの開発

抄録

電子顕微鏡の試料を粗微動させるアクチュエータとして、100 nm以下の微小変位を安定に発生させるインパクト駆動機構アクチュエータを開発した。複数のバネによりレールと摩擦部材の接触圧を制御する機構を考案し、レール位置による摩擦のばらつきを低減させた。機構の改善により、高速なパルスに対する応答は向上し、変位ばらつきは低減した。60 nm程度の微少変位を安定して発生することが可能になった。