ゼロ熱膨張セラミックス（NEXCERA）の衛星用非球面ミラー加工技術の開発 （第1報）

抄録

次世代の光学衛星においては光学系の熱的安定性の向上が必要とされている。この光学系のミラー材料としてゼロ膨張セラミックス(NEXCERA)は従来のゼロ膨張ガラスに変わる有望な材料と考えられている。衛星用ミラーのためには超軽量非球面ミラーの高精密加工が必須となる。本発表ではNEXCERAの研磨特性やサブアパーチャー工具を使用した放物面の精密加工、およびMRFによる双曲面の精密加工の適用について述べる。