シータ管ナノピペットを用いた走査型イオン伝導顕微鏡による帯電試料の形状イメージングと帯電マッピング

抄録

走査型イオン伝導顕微鏡は電界液中において開口数十nmのピペットをプローブとして用い、ピペット内を流れるイオン電流を距離検出信号することで試料表面形状を非接触で観察するプローブ顕微鏡である。我々は複数開口を有するピペットを用いることで、試料の帯電の影響を受けない形状イメージング手法を実現した。本発表では走査型イオン伝導顕微鏡を用い形状イメージングと帯電マッピングを同時に行う手法について報告する。