ナノ構造表面の表面力に関する研究

抄録

プローブ型表面力測定装置を用いて任意の2表面間の表面力評価を試みている．本報告では同装置の基礎特性を明らかにするため，表面粗さが表面力に及ぼす影響を調査した．表面にナノ構造を形成して，0.2から46nmの粗さをもつSi基板を準備し，真空中でその表面力を測定した．表面力は179から2μNまで減少し，その大きさはナノ構造凸部の曲率半径と相関があることが確認された．また，空間周波数の影響も調査した．