パルスレーザー堆積法による窒化金属膜からなる非対称MIM構造の製作と分光特性評価

押鐘 寧; 中野 元博

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_805

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: L24

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_805

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

パルスレーザー堆積法による窒化金属膜からなる非対称MIM構造の製作と分光特性評価

*押鐘寧, 中野元博

著者情報

キーワード: パルスレーザー堆積法, 窒化金属薄膜, パルスNd:YAGレーザー, 金属-誘電体-金属構造, 表面プラズモンポラリトン

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

光プローブ先端への応用を目的として，金属-誘電体-金属(MIM)構造の多層薄の製作を進めている．全窒化プロセスを目指して，膜材料に窒化金属物を選択した．種々の材料において成膜特性の良いパルスレーザー堆積法(PLD)を採用し，焼結体ターゲットへ波長355nmのパルスレーザー光を照射してPLD成膜した．これまでの実験で，各層のサブ波長厚みでのPLD成膜に目処が立ったため，初めてMIM構造を試作した結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）