エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製（第1報） RCWA法を用いた光学特性解析

増井 周造; 鈴木 裕貴; 道畑 正岐; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_803

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: L23

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_803

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製（第1報）

RCWA法を用いた光学特性解析

*増井周造, 鈴木裕貴, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

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キーワード: 干渉造形, エバネッセント光, RCWA法

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抄録

近年マイクロ，ナノオーダの複雑形状をもつ表面構造が，特徴的な光学特性を有することから，非常に注目を集めている．それらの表面構造を造形するために，我々はエバネッセント光の多光束干渉によって生じる複雑な強度分布を利用した造形法を提案している．本報では，提案手法で得られる構造を理論的に求め，造形される形状に対して厳密結合波理論（RCWA）法を用いて光学特性を解析した．

責任著者(Corresponding author)

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