微小光共振器のためのEEM加工特性評価

天野 光; 水本 由達; 武井 良憲; 江川 悟; 三村 秀和; 柿沼 康弘

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_81

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: B05

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_81

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

微小光共振器のためのEEM加工特性評価

*天野光, 水本由達, 武井良憲, 江川悟, 三村秀和, 柿沼康弘

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キーワード: Elastic Emission Machining, 超精密加工, 単結晶蛍石, 微小光共振器

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抄録

光信号処理回路を実現する構成要素の一つに微小光共振器があり，その材料として単結晶蛍石が理想とされている．超精密切削で形状創成した後，加工変質層を取り除くために研磨加工を施す必要がある．しかしながら，微細曲面形状の研磨手法は確立されていない．そこで，本研究ではEEMによるナノオーダ研磨を行い，微小光共振器の研磨手法としての有効性を評価した．研磨試験の結果，加工変質層を除去できることがわかった．(195字)

責任著者(Corresponding author)

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