ナノ多結晶ダイヤモンド製フライス工具によるSiCの超精密切削

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: B08

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

ナノ多結晶ダイヤモンド製フライス工具によるSiCの超精密切削

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抄録

このナノ多結晶ダイヤモンド（NPD）を工具材料として用い，これまでのようなレーザ光を用いる方法により，NPD製マイクロフライス工具を試作し，その摩耗特性を評価し，単結晶ダイヤモンド製の工具と比較検討したので報告する．