大面積電子ビーム照射における凸形状変化の数値解析的予測に関する研究

抄録

凸形状を有した工作物に対して大面積電子ビームを照射すると凸部先端が丸みを帯びる現象が生じる．これは凸部先端での電子集中および熱拡散のしにくさが原因であると考えられる．本研究では凸部先端への電子集中現象の解明を電子軌道解析により検討した．また，電子集中現象を考慮した非定常熱伝導解析により形状変化予測を試みた．解析値と実験値を比較した結果，凸形状の除去厚さ変化を高精度に予測できることが明らかとなった．