光学素子精密創成用イオンビーム加工におけるイオン電流特性評価

後藤 孝一郎; 平石 光希; 相原 寛樹; 瀧野 日出雄

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_91

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: B14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_91

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

光学素子精密創成用イオンビーム加工におけるイオン電流特性評価

後藤孝一郎, 平石光希, 相原寛樹, *瀧野日出雄

著者情報

キーワード: イオンビーム, 光学部品, 創成加工, 計測, イオン電流, 加工

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抄録

近年，EUV露光装置用ミラーなどの高精度光学素子の形状創成加工において，イオンビーム加工法が注目されている．同加工法による高精度加工ではイオン電流の安定化が求められ，そのためにはイオン電流の精密測定も重要となる．本研究では，イオンビームを導体平板に照射した場合のイオン電流と二次電子を検出できる検出器を試作した．これによる測定結果と，ファラデーカップで測定されるイオン電流との比較を行った．

責任著者(Corresponding author)

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