精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会秋季大会
セッションID: N23
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ゴム膜上レリーフを用いた真空マイクロコンタクトプリント技術の開発
峰村 俊輝*岩崎 真己永井 萌土柴田 隆行
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抄録
本研究では,生体材料の大面積パターニングを実現するため,信頼性の高いマイクロコンタクトプリント技術開発を目的にしている.これまでにゴム膜上にレリーフを設け,規定の圧力を与えて均一な変形とプリント圧を印加した.従来の問題点は,一箇所の漏れで,スタンプの動作が妨げられる点にあった.対策としてゴム膜損傷を考慮して,レリーフをモジュール分割し,大気圧と真空で動作するように構造と原理の変更を行った.
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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