化学気相研磨法を用いた簡便なタングステン微細探針の作製法

抄録

タングステン微細探針は、電解研磨法で作製されてきた。しかし、電解研磨法は、長い製作時間を要し、薬品や液面を安定化させる装置も必要とした。我々は、液化ブタンガスと酸素の混合ガスを燃焼させた炎でタングステン線を切断することで、微細探針を簡便に作製できることを新たに発見した。作製した針は、きわめて再現性よくサブμmの曲率半径を有し、電気伝導も電解研磨法で作製した探針と同等である。