THzエバネッセント波の金薄膜厚さ依存性の検証

菊池 章; 林 冠廷; 金 鮮美; 根間 裕史; 梶原 優介

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_957

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: P08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_957

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

THzエバネッセント波の金薄膜厚さ依存性の検証

*菊池章, 林冠廷, 金鮮美, 根間裕史, 梶原優介

著者情報

キーワード: テラヘルツ, 近接場, 金薄膜, 厚さ依存, エバネッセント波, 局在光

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抄録

パッシブ型THz近接場顕微鏡は，外部照射光を利用せずに物質自身のダイナミクスに起因するTHzエバネッセント波を高い空間分解能（20nm程度）で検出可能である．本研究では実装回路の配線パターンを想定して金薄膜試料からのTHzエバネッセント波に焦点を絞り，薄膜の厚さを変更した際の近接場強度の変化を実験的に調査・評価を行ったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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