精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会秋季大会
セッションID: P37
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スペックル干渉計測に基づく三次元変形計測法の測定感度を考慮した測定領域の拡大
*新井 泰彦横関 俊介
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キーワード: スペックル干渉計測
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抄録
三軸に同じ感度を持つ三次元変形計測がスペックル干渉計測によって実現されている.しかし,この技術に基ずく従来の光学系では,三軸が直交する座標系に沿って光軸が設定されているので,測定領域内に影が発生し,部分的に測定ができない領域が発生する問題がある.本研究では,ベクトル解析により,必ずしも直交する三次元座標を用いることなく三次元変形計測が可能な解析技術を提案している.
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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