ファイバ型 PDI（Point Diffraction Interferometer） を用いた球面ミラー形状計測

位相シフト法と局所モデル適合法のハイブリッド解析

抄録

近年、様々な分野において高精度な凹球面ミラーが必要とされている。そこで、我々は、ファイバ型PDI(Point Diffraction Interferometer)を開発した。ファイバ型 PDIを用いた干渉計の解析法として、位相シフト法(PhaseShifting Method)と局所モデル適合法(Local Model Fitting)のハイブリッド解析を行い、振動環境下での形状計測について検討した。その結果、従来の位相シフト型 PDI で現れる振動の影響を低減することができた。