超音波振動子と対向面を用いたポンプの開発（第5報） ギャップ内圧力の推定

品田 裕壮; 高崎 正也; 石野 裕二; 山口 大介; 原 正之; 水野 毅

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_149

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: C06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_149

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

超音波振動子と対向面を用いたポンプの開発（第5報）

ギャップ内圧力の推定

*品田裕壮, 高崎正也, 石野裕二, 山口大介, 原正之, 水野毅

著者情報

キーワード: 超音波ポンプ, 対向子, テーパ, スクイーズ膜, 超音波振動子

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抄録

これまでに，内部配管を備えた超音波振動子にテーパ加工を施した面を対向させることで，ポンプ効果が発現することが確認されている．このポンプではスクイーズ膜効果を由来とした正圧により二面間にギャップが生じる．このギャップ内の圧力を対向子にはたらく反力として計測するために，対向子背後にロードセルを備えた．またボイルの法則を適用することで，取得したギャップ及び振幅から圧力を算出し実験値と比較した．

責任著者(Corresponding author)

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