積層型圧電素子を用いた浮上機構の入力信号が特性に与える影響

抄録

本研究では積層型圧電素子を用いた浮上して移動するアクチュエータの実用化を目指している。これまでにインピーダンスアナライザを用いてアクチュエータのアドミタンス、端子間電圧と電流の位相差等の電気的周波数特性を測定し実際にアクチュエータを浮上させたときの周波数特性の比較を行った。今回は、周波数 特性分析器を用い入力電圧の変化による圧電素子の電気的特性、機械的特性の変化とその原因について考察する。