圧電アクチュエータの荷重下特性に関する研究

ユニモルフ素子に対する検討

抄録

圧電アクチュエータへの荷重によって変位が増大または減少するという現象がある。これまでにバイモルフアクチュエータに対する調査をしたが，バイモルフでは荷重と分極と変形の方向が複合し，d31に対する荷重の影響の純粋な状況が得られなかった。本報ではユニモルフ形式のアクチュエータに荷重を加えて調査した結果，分極と荷重の方向によって，発生変位が単調的に増加または減少する傾向があるという結果を得たので報告する。