広い周波数帯で共振振動可能な超音波振動子の開発

横澤 宏紀; Jens Twiefel; Michael Weinstein; 森田 剛

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_181

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: C33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_181

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

広い周波数帯で共振振動可能な超音波振動子の開発

*横澤宏紀, Jens Twiefel, Michael Weinstein, 森田剛

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キーワード: 超音波振動子, FET, 共振周波数

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抄録

圧電体は電気的な境界条件を開放―短絡間で制御することによって，スティフネスが変化する．本研究グループではこのスティフネスの変化を利用し，振動子に組み込んだ共振周波数制御用圧電体の境界条件をFETに制御することによる，共振周波数の動的制御を考案した．本稿ではこの動的制御を用いて，与えられた駆動周波数において振動子の共振周波数となるよう変化させることのできるシステムを開発した．

責任著者(Corresponding author)

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