マイクロ複雑形状の多軸機上計測のためのプローブ経路生成に関する研究

抄録

超精密切削加工において，加工後のワークを加工機から取り外すことなく機上で計測する機器が実用化されている．しかし，加工形状は複雑な自由曲面を有する形状に移り変わり，より高度な機上計測技術が要求されている．そこで本研究では，加工面に対するプローブの姿勢が計測結果に与える影響を調査して許容範囲を決定した．さらに，許容範囲内のプローブ姿勢でマイクロ複雑形状を計測するケーススタディで，その有用性を確認した．