非接触精密光コム距離測定技術の開発（第13報）

回転ミラーによる粗面金属曲面計測とCMMによる評価

抄録

本研究では、光コム二台による大型粗面物体に対する周期誤差フリーな座標計測手法の開発を行っている。先行研究では、計測対象物をステージに乗せて動かすことにより形状計測を行ったが、本研究では回転ミラーを利用することにより、高速に座標計測が可能な手法を提案し、実際にそれを応用して計測を行ったことについて報告する。また、その結果が妥当であることを確認するために、CMMによる評価を行ったことについて報告する。